站長資訊網11月7日消息 針對荷蘭ASML公司延遲出貨EUV光刻機的報道，中芯國際剛剛也作出了回應，稱“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段，未進行相關活動。公司先進工藝研發進展順利。目前，研發與生產的連結一切正常。客戶與設備導入正常運作。”
早些時候ASML也澄清稱，關于日經新聞(NIKKEI)有關中芯國際相關報導有誤，“延遲出貨”僅為其媒體推測，ASML從未評論或確認，對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述，表示抗議。
ASML表示，對全球客戶一視同仁。根據瓦圣納協議，ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期，ASML已經于到期前重新進行申請，目前正在等待荷蘭政府核準。
據了解，中芯國際目前量產的最先進制程為14nm，12nm已經取得重大突破。而EUV光刻機主要用在7nm及以下制程。
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